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半導體
  • 熱處理
    磊晶、RTP
  • DEGAS
    脱ガス、水分除去
  • 反應
    CVD、蝕刻
適用商品
FPD/PV
  • DEGAS
    抽氣、除去水份
  • 反應
    CVD
適用商品
汽車
  • 乾燥
    車窗玻璃塗布乾燥
  • 熱壓
    軸承插入前的孔穴加熱
  • 樹脂壓接
    壓接前接合部的加熱融化
適用商品

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