MIKASA製旋轉塗佈機（Spin Coater）
「旋轉塗佈機」為利用真空吸住基板，將欲塗佈的化學物質，如光阻劑，藉由高速旋轉產生的「離心力」將化學藥劑均勻塗佈於平坦基材上面的設備。
【特徴2】擁有各種不同塗佈基板及sample形狀的驗證資料。
【特徴3】提供各種Option供選擇以提升操作性能。
【特徴4】特製的旋轉塗佈機專用伺服馬達及驅動更容易控制膜厚。
1.成膜管理
- MIKASA獨家的旋轉控制系統不但可以達到5,000rpm以上的高速旋轉，且旋轉數精度全實現了±1rpm的高精度。
- 可任意設定旋轉數(0~5,000rpm)和到達旋轉數的時間(0.2sec~999.9sec)，因此可輕易地控制膜厚。
- 可追加滴下裝置(MS-A150/MS-A200)。
《參考》MS-B150膜厚分布DATA
2.採用AC伺服電動機
- 無刷式，不會造成無塵室汚染。
- 減少電動機發熱，也減少因連續使用時的温度上昇造成對膜厚再現性的影響。
- 電力消費低，減低環境的負擔。
3.擴張程式功能
- 最多有100階段程式、可記憶10種模式，易於對應各種材料。
4.所有機型皆標準配備數位式真空計。
5.方形基板等可設定停止時位置，超方便。
6.安全裝置機構(真空壓及蓋子)
- 由於薄膜或晶圓容易破裂，而降低吸附壓力時，可以變更安全裝置機構（真空）的稼動壓力。
