U 適用寬幅及薄型膠捲亦適用膠捲寬度最大165mm及250mm、25μmt（PI）的膠捲。
U 採用大口徑投影鏡片配備優志旺獨特的大口徑投影鏡片，大幅提升良品率，並達到高Throughput。
U 較深的焦點深度適厚膜光阻與變形膠捲均適用。
U 自動對焦機能因應膠帶伸縮，並達到高重疊精確度。
