U 單一波長、低溫處理因為是單一波長，因此可選擇會引起化學反應的紫外線，並可達到不使對象物產生非必要反應或熱的低溫處理。
U 高效率從電力轉換為光能源的效率高（172nm型的轉換率10%)，即使低電力亦可產生大的能量。
U 可瞬間亮燈滅燈僅於必要時照射必要量的能量，因此具備「不需要快門」、「實際上可延長使用壽命」等各種優點。
U 安裝方向不受限制燈的亮燈方向不受限制，可配合生產線做立面照射。
U 分光分布
U 半導體製程用裝置實例
U 液晶製程用裝置實例
