U 高效率的能源來源
可將投入電力之85%以上轉換為紅外線放射的高效率熱源。使用燈管的放射加熱、因此不受周圍環境影響、僅對被加熱物有效。
U 電力密度高、可達到1000℃以上的快速升降溫
發熱體的色溫度是2500K的鎢絲燈。
U 因為是「光」，因此控制性高。
可自由地利用鏡頭或鏡子、完成集光與散光、或熱的「處理」，以簡易系統達到高效率的加熱。
U 小型且潔淨的熱源
雖然能量大，但小型且輕量，因此可以安裝在狹窄的場所。
此外、由於可非接觸加熱、因此無須擔心污染對象物或照射環境，無論是大氣中或真空中等，加熱環境均不受限制 。
U 快速啟動/關閉
以熱容量較小的燈絲為熱源，因此能量ON/OFF模式的啟動與關閉幾乎與開關同步，可依照複雜的加熱程式執行微妙熱控制。
U 使用壽命長且放射固定的能量
在鹵素周期的作用下、長達5000小時的長效型設計。而且直到不能使用為止，均保持固定的放射能量。
維持固定電力時的分光分布
啟動性能（左）／衰退性能（右）
晶圓溫度測量結果
電力維持率
